行业痛点
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环境要求严格
洁净室静电、无尘、避震要求高，
通道狭窄易磕碰 -
人工作业难
人员流失率大，用工成本高，且人工作业震动大，
易产生裂片污染，影响良率 -
信息孤岛
工艺流程复杂且离散，
数据难以追溯
半导体车间整体物流解决方案
方案优势与价值
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提高生产效率
机器人高效代替人工作业，降低人工成本，提高生产效率。
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提高生产良率
多级减震设计，防止运输过程中晶圆碎裂，提高生产良率。
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实现跨厂房及窄通道搬运
机器人本体宽度仅 550mm，可通过狭窄的风淋门，实现窄通道高效搬运。
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智能化柔性生产
采用智能管理系统主动收集生产数据信息，实时分析生产情况。
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服务与监督热线
400-962-6800
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